中國MEMS傳感器芯片產線汇总
MEMS傳感器将是将来傳感器最首要的類型之一，很多傳統感测傳感器都在不竭“MEMS”化。本文收拾了中國重要的MEMS傳感器芯片產線和最新希望环境，信息截止2022年1月，是今朝最齐备的MEMS產線出產信息清點。重要有企業IDM產線、代工產線、中试線、研發平台等，总计33条MEMS傳感器芯片產線信息。
一、美新半导體 （IDM）
美新半导體（MEMSIC）是全世界领先的惯性MEMS傳感器及解决方案供给商，于1999年建立, 今朝总部位于中國天津，2007年在美國纳斯达克上市，是全世界MEMS第一股。
美新半导體在無锡建有8英寸MEMS磁、惯性傳感器封测產線。2021年7月，据绍兴滨海新區管委會公示通知布告，美新半导體将在绍兴扶植MEMS磁傳感器出產線及加快度傳感器工藝開辟实行線，该產線估计年產6亿颗MEMS芯片。
二、赛微電子 （代工）
赛微電子2015年在厚交所創業板上市，重點成长MEMS工藝開辟與晶圆制造营業，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，供给壓力、惯性、红外、微镜、光開關、硅话筒等多種MEMS工藝開辟及晶圆制造的辦事。
按照半导體市場钻研機構Yole Development統计的2020年纪据，Silex Microsystems AB 在全世界MEMS纯晶圆代工排名中位居第一，全世界MEMS芯片代工市場（不包括IDM廠商本身制造部門的統计）的占据率约為8%。
同年，引入计谋股东北京集成電路制造和設备股权投資基金，在北京启動扶植“8英寸MEMS國际代工線扶植項目”。
2021年6月北京8英寸MEMS產線（北京FAB3）一期建成出產，今朝月產约1万片。FAB3二三期工程正在举行，全数投產後，估计FAB3总產能达3万片每個月。
2021年10月赛微電子旗下Silex專項技能出口允许申请被瑞典政府反對，赛微電子将没法經由過程子公司Silex获得相干MEMS技能，必要自立自力摸索後续MEMS技能细節。
▲赛微電子董事长杨云春手持北京FAB3出產的8英寸MEMS话筒晶圆
三、东方微磁 （IDM）
湖北宜昌东方微磁有限公司是中國船舶重工團體公司第七一〇钻研所全資子公司，是一家致力于磁學计量和中國磁電財產成长的高新技能企業，建有國防科技工業弱磁一级计量站、磁電子技能國度处所结合工程实行室、湖北省磁電子工業技能钻研院，具有海内第一条MEMS磁傳感器芯片出產線。
东方微磁的MEMS出產線2015年末全数调通，是海内首条可知足工業化出產的磁芯片出產線，守旧產能為1000片/月，每一年最少可出產月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、真空、测试等装备進60台。
四、昊润科技 （IDM）
山东昊润主動化技能有限公司从事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業專用型主動化测控仪表的設計研發和范围化制造。
2011年欧洲經濟危機時代，昊润科技收購芬兰VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套出產線，并引進其焦點技能。是以，昊润科技具有本身的3D-MEMS技能和硅電容傳感器出產線，年出產范围1500万只。
五、中芯集成電路制造（绍兴）（代工）
2018年3月由中芯國际、绍兴市當局、盛洋團體配合出資設立中芯集成電路制造（绍兴）有限公司。同年5月，总投資58.8亿元的中芯集成電路制造（绍兴）項目動工奠定，该項目用地207.6亩，新建14.65万平米的廠房，扶植一条集成電路8寸芯片制造出產線和一条模组封装出產線。
中芯國际的MEMS方案重要集中在MEMS话筒、加快度计、陀螺仪、壓力、显微镜、超声波傳感器、射频器件。
中芯集成一期计划10万片8英寸晶圆月產能。于2020年1月正式投產，5年内延续投資近60亿人民币扶植达產，構成芯片年出貨51万片和模组年出貨19.95亿颗的財產范围，范围化量產话筒、惯性、射频、MOSFET和IGBT等產物的芯片和模组，实現年贩賣收入达40亿人民币，税收4.1亿元，净利2亿元。
2020年第四時度一期產能扩產至每個月4万片晶圆，近期其樂成完成晶圆装备链调试，8英寸晶圆月產能增至7万片，良品率达99%。
▲中芯集成電路制造（绍兴）廠房
六、上海先辈半导體（代工）
上海先辈半导體前身是1988年中荷合股的上海飞利浦半导體公司，颠末屡次改制後，2019年被上海积塔半导體吸取归并，改制為上海先辈半导體系體例造有限公司。
先辈半导體由傳統摹拟芯片代工場转型MEMS代工， 今朝有5英寸、6英寸、8英寸晶圆出產線，MEMS出產線可以代工的器件包含：三轴陀螺 仪、加快度计、生物MEMS芯片、光學MEMS、RFMEMS、微流體開關、壓力傳感器等，可被遍及利用于消费電子、醫療電子和汽車電子等范畴。
今朝，该MEMS出產平台具有世界最先辈的深槽刻蚀、键合、硅片邊沿修整等装备，設計月產量可达3000片。
▲上海先辈半导體
七、華润微電子（IDM&代工）
華润微電子是2002韶華润團體收購華晶團體改组而成，总部位于無锡，具有3条6英寸線，此中MEMS產線是海内范围最大的與CMOS出產線兼容的MEMS傳感度量發生產線，具备海内领先程度的 MEMS 概况和體硅加工技能，用于制造壓力、硅话筒、光電、温湿度等MEMS傳感器。
華润微電子8吋MEMS的3000片/月產能扩充已完成，并投入利用。光電及MEMS话筒工藝平台从6英寸進级到8英寸，实現批量出產，產物機能及良率程度優异；总體晋升了其MEMS工藝技能程度和竞争能力。
▲華润微電子
八、華虹宏力（代工）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半导體系體例造有限公司归并而成，自扶植中國大陆第一条8英寸（200妹妹）集成電路出產線起步，華虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產能约18万片。
在8英寸制造平台上，華虹实現MEMS器件與尺度CMOS工藝及出產線的全兼容。已流片的產物包含磁力计、加快度计、壓力傳感器等。
▲上海華虹宏力三廠
九、德尔森 （IDM）
德尔森團體是一家中德互助的高新技能企業，團體总部與產物設計中間位于德法律王法公法兰克福和中國南京。
德尔森與南京市配合創建江苏MEMS智能傳感器钻研院，投資1.04亿元建有基于德國CIS钻研院技能的MEMS壓力傳感器芯片產線。
十、英特神斯科技 （代工）
江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全世界MEMS软件巨擘美國Intellisense的中國计谋研發機構，在江苏南京建有MEMS傳感器芯片工藝線，與北京大學、清華大學、中國科學院等浩繁科研機構創建了计谋互助瓜葛。
十一、力盛芯 （IDM）
力盛芯（洛阳）電子科技公司是由台灣LED財產之父石修投資創建的企業，重要出產微電機工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微電機工藝集成電路代工制造三大類產物。2017年总投資9亿元，约5万平方米的8英寸MEMS芯片廠正式投產。
1二、浙江芯動科技（代工）
浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉兴市，是一家專注高端MEMS代工并具有自立常识產权的出產加工企業，是纳杰微電子旗下公司。
芯動科技具有先辈的6英寸MEMS芯片財產化出產線，工藝能力涵盖MEMS芯片出產全進程，出產壓力、加快度计、陀螺仪，光镜和生物醫學等MEMS傳感器芯片產物。
芯動科技今朝已投入1亿多用于產線的扶植，規划联合股本方在将来2-3年投入5亿元人民币继续完美制造基地的相干装备举措措施。该基地今朝修建面积為3000平方米，是中國最先辈的MEMS器件加工平台之一，具有芯片制造、封装测试等一系列的能力。
▲浙江芯動科技廠房
1三、睿創微纳（IDM）
睿創微纳总部位于山东烟台，是从事專用集成電路、红外热像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業。
睿創微纳的8英寸MEMS晶圆出產線由公司與代工場共建，已量產，月產能1500片晶圆。
2020年7月，與烟台開辟區签订协定，扶植一条8英寸MEMS工藝線和一条化合物半导體工藝線。此中，化合物半导體芯片工藝線面向半导體激光器、光電探测器、微波器件和功率器件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS傳感器等。
▲睿創微纳
1四、罕王微電子（IDM&代工）
罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造出產為焦點的高科技中美合股企業，总部位于辽宁省沈抚新區，系罕王團體控股子公司。
罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器营業，2018年建成海内首条8英寸纯MEMS范围化量產線，工藝能力涵盖MEMS芯片出產全流程，設計晶圆產能36万片/年。出產傳感器包含：陀螺仪、IMU惯性丈量单位、射频RF-MEMS及加快度、温度、湿度、壓力、應力傳感器等。
1五、河北美泰（IDM）
中國電子科技團體第十三钻研所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS尺度加工技能及在高機能MEMS 器件中的利用”經由過程科技部组织的專家驗收。
6英寸SOI MEMS尺度工藝和封装技能用于MEMS陀螺仪、加快度计、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高機能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線月產能到达1万片。
1六、厦門西人马（IDM）
西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马结合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）建立于2017年，是西人马MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70亩，修建面积20000㎡，具备6000㎡的超净車間和先辈微纳米钻研实行室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產線和中國先辈的MEMS器件加工平台。
西人马19年11月得到朗润基金数万万A轮融資，20年一季度得到A+轮的1亿元人民币融資，2021年3月获B轮融資，成长敏捷，西人马已成為海内MEMS范畴IDM芯片公司的鳌头，红外和壓力傳感器逐日產量可以到达几十万颗。
1七、广州奥松電子（IDM&代工）
奥松電子建立于2003年，專注于MEMS半导體工藝技能，是海内率先利用MEMS半导體工藝技能出產傳感器芯片的高新技能企業，也是广东省MEMS范畴集研發、設計、制造、封装测试、终端利用為一體的MEMS智能傳感器全財產链（简称IDM）企業。
2020年9月，广州奥松電子有限公司6英寸MEMS半导體傳感器芯片出產線正式投入運营，樂成量產出温湿度、流量、气體、差壓、風速等傳感器芯片。
奥松電子MEMS半导體出產線一期工程為500纳米MEMS半导體工藝制程，出產装备约占全部投資范围的70%。按照计划，2021年二期工程建成350纳米制程工藝MEMS半导體出產線；2022年三期工程将建成180纳米制程工藝MEMS半导體出產線；总項目全数建成投產後，每個月流片范围将到达4万片，
2021年8月，奥松電子官網颁布發表對外開放MEMS芯片代工营業，包含装备同享、技能支撑、企業孵化等辦事。
2021年4月奥松電子控股的全資子公司——奥松半导體（珠海）有限公司，将在珠海高新技能財產開辟區扶植8英寸先辈MEMS特點半导體IDM財產基地項目。该項目建成後，将成為海内先辈的MEMS芯片及智能傳感器財產集群，提高MEMS芯片的代工和量產能力。
1八、诺思微體系（IDM）
诺思微體系位于天津，是一家無線装备射频前端MEMS滤波芯片辦事商，其產物重要采纳薄膜體声波谐振器(FBAR)技能和硅衬底的微電機體系(MEMS)制造技能，同時為無線射频滤波器、雙工器、和多工器等供给解决方案。
诺思微已投產一条6英寸MEMS晶圆出產線和一条4英寸工藝研發線。廠房和研發中間总占地面积2.7万平方米。
2021年3月，國度重點研發規划“制造根本技能與關头部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關头技能與平台”的項目在诺思微體系启動，针對5G/6G無線通信、物联網等對射频滤波器、智能傳感器提出新的技能请求，對实現晶圆级硅基MEMS壓電器件的大范围出產、解脱我國今朝關头MEMS壓電器件受制于人的場合排場，有首要意义。
2021年8月完成4亿元融資，估计在一年内周全加快產能開释，达年產20亿颗滤波器芯片的產能范围。
1九、多维科技（IDM&代工）
建立于2010年，总部在江苏张家港，扶植有完备的第四代磁傳感技能——地道磁電阻（TMR）的磁性感到芯片產線。
多维科技的磁傳感器晶圆代工場具有6英寸和8英寸MEMS晶圆產線，供给完备的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開辟及晶圆制造辦事（包含設計、制造和测试），年產10亿個TMR磁傳感器。
2021年5月多维科技获4亿元融資，将用于對現有產線举行進级，可以或许進一步强化“自研、自產、技能领先”的焦點竞争力。
20、湖南启泰傳感科技（IDM）
2006年建立，总部在湖南浏阳。启泰傳感以王國秋傳授為首的科研團队霸占了异质膜關头工藝與技能，扶植海内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片出產線，是世界上少数几家具备金属溅射薄膜壓敏芯片范围化出產能力的公司之一。
2019年8月该出產線实現批量出產，年產壓敏傳感芯片50万颗，至2021年一期工程顺遂竣工投產，用地面积35亩，扶植总用地面积2万多平米，傳感器芯片年出產能力可达600万颗，傳感器封装200万支，年產值可达10亿元。
二期項目正在举行，估计竣工後，傳感器芯片產能将达2000万颗，傳感器封装1000万支，年產值可达50亿元。
2一、高德红外（IDM）
高德红外創建于1999年，总部位于武汉，具有8 英寸 0.25um 批產型 MEMS 出產線，是今朝海内独一一条自立可控且具有批產能力的非制冷红外焦平面探测器出產線，已实現从 120×90 到 1280×1024 从低到高各種面阵規格產物型号批產能力。
高德红外今朝已具有3条8英寸红外探测器產線，据2021年8月動静，年末将有新產線投產，并提高3~4倍產能。
2二、武汉衍熙微器件（IDM）
武汉衍熙微器件具有天下第一条8寸體声波（BAW）量產線，具备先辈的光刻、薄膜、蚀刻和封装装备，并創建立异自立開辟的產物出產流程。该產線重要產物有MEMS滤波器、雙工器等。
2018年，武汉衍熙微器件举行項目扩建，一期為租赁現有廠房5600平方米，扶植3600平方米的無尘室車間；二期規划扶植约10000平方米的無尘室車間，用于扩展出產。
2三、杭州士兰微電子（IDM）
杭州士兰微1997年建立，是海内范围最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。
自2010年起头，士兰微電子投入牙齒美白牙膏,大量資金，@經%7946N%由%7946N%過%7946N%程對加%a4NuU%快@度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系傳记感器產物的開辟，在6吋、8吋芯片出產線上实現了批量制造能力，并創建本身的MEMS封测出產線，開端走通了系傳记感器的IDM成长之路，已申请相干發現專利百余項。
今朝士兰微MEMS傳感器產物系列丰硕，有：MEMS加快度计、三轴AMR磁傳感器、六轴惯性傳感器、高機能MEMS话筒、数字三合一傳感器、心率傳感器、高機能气壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士兰微發出資產重组通知布告，引入國度集成電路財產投資基金股分有限公司，召募11亿元。
2四、姑苏固锝（IDM）
姑苏固锝建立于1990年，是海内二极管龙头企業，旗下子公司明锐光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM营業。
2010年固锝收購明锐光電，明锐光電重要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技能及八寸晶圆级封装技能及產線和產物研發。
2011年建立明皜傳感，从事微電機傳感器芯片和器件的工藝開辟、設計。2021年8月，明皜傳感获小米投資，注册本錢由 6443.64 万元人民币增长至 7085.19 万元人民币，增幅為 9.96%。
2021年6月，姑苏固锝與華景傳感合股建立華锝半导體，愿景是将華景傳感的MEMS话筒芯片設計技能與姑苏固锝的封测技能及出產履历相連系，渐渐实現MEMS话筒在高端范畴的入口替换。
同月，華锝MEMS声學傳感器及射频滤波器封测項目落户姑苏。項目一期產線将創建合适華為系統尺度的MEMS声學傳感器的封测基地，重要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入海内開創MEMS话筒及射频滤波器的WLP晶圆级封装產線，该晶圆级封装為芯片流片工藝最後一道關头工藝，華锝将具有自立晶圆级封装相干自立技能常识產权。
2五、沈阳仪表科學钻研院（中试線）
沈阳仪表科學钻研院傳感器國度工場钻研中間是我國独一的國度级傳感器工程钻研中間，在中國傳感器研發、出產、利用等方面有着举足轻重的职位地方。是我國傳感器尺度草拟牵头单元、傳感器行業协會理事长单元。
钻研中間建有4英寸中试線，重要用于MEMS傳感器研產生產利用。
2六、姑苏纳米城（中试線）
姑苏纳米城6英寸MEMS中试線由姑苏纳米科技成长有限公司（姑苏工業园區當局出資）扶植，是江苏省“十二五”重大科技平台項目。
姑苏6英寸微纳電機制造（MEMS）中试線采纳市場化、全開放的運作模式，重要展開MEMS產物工藝研發、MEMS加工、部門封装测试、專利運营、装备租赁、超净园地租赁、工藝技能培训等十多項專業辦事，今朝已樂成导入壓力傳感器、微镜傳感器、微流體傳感器等產物
2七、姑苏纳米技能與纳米仿生钻研所（中试線）
中國科學院姑苏纳米技能與纳米仿生钻研所由中國科學院與江苏省人民當局、姑苏市人民當局和姑苏工業园區于2006年配合建立。钻研所前瞻结構了電子信息、纳米质料、生物醫學等重點钻研范畴，扶植有效于MEMS器件研發利用的代工產線。
2八、淄博高新區6英寸中试線
该產線由清華大學、淄博高新區MEMS钻研院和國高(淄博)微體系科技有限公司配合完成。
是海内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净范围海内一流；配备了國际一流装备的中试代工線，中试出產能力可达月產傳感器十万只，產物的测试情况也居海内先辈程度。
2九、刀兵214所（中试線）
蚌埠刀兵214所智能傳感器立异中間已建成國度级微電子機器體系(MEMS)國度处所结合工程实行室和6英寸MEMS智能傳感器研制出產工藝線，具备設計、制造、封装、挑選测试及利用的全財產链研制出產能力，具有丰硕的彻底自立常识產权的MEMS技能，焦點發現專利300余項，產物笼盖高端惯性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器和气體傳感器等，是海内MEMS龙头企業和工信部傳感器“一条龙”树模企業。
30、中科院微電子所（中试線）
2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發平台，其8英寸MEMS中试線工藝不乱性到达98%；针對三轴重力加快度计、基于氧化钒的红外圖象傳感器、醫用CT中X-ray探测、基于薄膜體声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等產物。
3一、上海微技能工研院（中试線）
2017年，上海微技能工業钻研院（如下简称“工研院”）構建的海内首条，全世界领先，兼容CMOS的8英寸研發中试線正式投入運营，月產量将到达3000件。
该產線摆設了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、M雙眼皮手術，R磁傳感、功率及生物等相干工藝和量测装备。作為海内第一条先辈8英寸研發中试線，SITRI的8英寸研發中试線不但可承當產物研發、小批量出產、技能培训、装备驗證等辦事，有助于晋升研發的樂成率。
本年6月，上海微技能工研院颁布發表将8英寸線每一年四分之一的总機時帮助给上海大學，用于微電子學院讲授实践，為期5年。
3二、中科院電子學钻研所（研發平台）
中國科學院電子學钻研所（如下简称電子所）建立于1956年，現已并入中國科學院空天信息立异钻研院，是我國第一個综合型電子與信息科學钻研所，設有傳感技能结合國度重點实行室(北方基地)，建有效于MEMS研發利用的MEMS產線。
3三舒緩靜脈曲張噴劑,、中科院上海微體系所（研發平台）
中國科學院上海微體系所設有傳感技能结合國度重點实行室(北方基地)，現有的MEMS技能平台由微體系加工平台和微體系封装平台两部門構成，别离位于上海微體系所漕河泾园區内主楼的一层和二层净化間内。
全部平台具有100多台套先辈的大中型装备，总價值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微體系集成等成套工藝，為微體系钻研供给有力的技能保障。
结语
从以上對33条中國MEMS傳感器芯片產線的先容中，咱们可以看到，很多MEMS產線均為近几年才陆续投產，且范围广泛较小，產線產物单一，這也是我國今朝高端MEMS傳感器芯片市場惨痛景况的一個侧面。
由于每種類型的助眠噴霧,MEMS傳感器具备必定的“自力性”，這點區分于芯片的Fabless营業，具有本身MEMS產線的企業在研發和出產傳感器上有自然的上風，而很多國际傳感器大廠常常也保存有本身的MEMS產線。
但愿接下来中國MEMS傳感器芯片產線越開越多！你看好中國高端MEMS傳感器的将来嗎？
半导體工程師
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