國內首条12英寸先進傳感器研發中试線在上海嘉定成功通線

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继天下首条8英寸MEMS研發中试線落地上海嘉定工業區後，近日，由國度智能傳感器立异中間（如下简称“立异中間”）扶植的海內首条12英寸先辈傳感器研發中试線，也在嘉定樂成通線。

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跟着上海市加速推動都會数字化转型，物联感知收集越织越密，先辈傳感器財產蓬勃成长。“面向新兴技能成长和市场利用需求，立异中間将在12英寸中试線延续開辟新质料、新工艺、新器件等關头共性技能，重點冲破光學、声學、力學等先辈傳感器的焦點工艺，并鞭策相干產物及利用的財產化。”立异中間相干賣力人暗示，将来，将重點搭建共性技能平台，專注于先辈傳感器特點工艺研發和中试。

该中试線以國產装備為主，具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化學气相沉积、原子层沉积、化學機器研磨、湿法洗濯、主動化量测等先辈傳感器和晶圆级3D集成技能的焦點工艺能力，可供给產物研發、小批量出產、技能培训、装備验证等辦事。

今朝，立异中間已结合中國傳感器與物联網財產同盟的1000余家企業展開共性技能研發，构成的“產、學、研、用”协同立异機制，将加快海內先辈治療失眠,傳感器及相干利用的焦點技能成长，鞭策智能傳感、物联網、人工智能的生态系统扶植。

硅片一旦傳染微尘，便可能失效，因其中试線必需在無尘室下功课，而這类高尺度廠房的扶植请求极高，此中，最為严苛的是十级干净室，即一分钟內每立方英尺的空間內大于0.2微米的微瘦腰神器,尘必需少于10颗。為此，嘉定區相干部分第一時候為该項目寻觅符合的廠房，并跟踪辦事全部項目過程。

嘉定區科委主任谢东升暗示，加速扶植日本職棒,海內首条12英寸先辈傳感器中试線，有益于打造一個集研發、工程、市场、孵化的一體化功效平台，推動區域內產、學、研、用的协同成长。“以研發中试線為支點，可以撬動更多立异企業和高条理人材團队来到嘉定，展開產物技能研發。經由過程整合區內財產孵化器、財產基金等資本，助力嘉定打造千亿级智能傳感器及物联網財產。”

2021年1-5月，嘉定區智能傳感器及物联網財產总產出99.6亿元。今朝，嘉定區內已會聚智能傳感器及物联網企業超200家，開端笼盖財產链上中下流各环節，具有國度集成電路质料技能立异中間等7個大众辦事腳臭剋星,性平台和2個集成電路基金。