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國內首条12英寸先進傳感器研發中试線成功通線

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發表於 2021-7-19 17:51:02 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
据悉,该中试線發熱護膝,以國產装備為主,具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化學气相沉积、原子层沉积、化學機器研磨、湿法洗濯、主動化量测等先辈傳感器和晶圆级3D集成技能的焦點工艺能力,同時為國產設備供给验证平台,加快先辈傳感器財產链國產化,实現自百家樂破解,立可控。

國度智能傳感器立异中間先容,面向新兴技能成长和市场利用需求,将在12英寸中试線延续開辟新质料、新工艺、新器件和新集成等關头共性技能,重點冲破光學、声睡眠保健食品,學、力學、生物等先辈傳感器的焦點工艺,并鞭策相干產物及利用的財產化。
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