國內首条12英寸先進傳感器研發中试線成功通線

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据悉，该中试線發熱護膝,以國產装備為主，具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化學气相沉积、原子层沉积、化學機器研磨、湿法洗濯、主動化量测等先辈傳感器和晶圆级3D集成技能的焦點工艺能力，同時為國產設備供给验证平台，加快先辈傳感器財產链國產化，实現自百家樂破解,立可控。

國度智能傳感器立异中間先容，面向新兴技能成长和市场利用需求，将在12英寸中试線延续開辟新质料、新工艺、新器件和新集成等關头共性技能，重點冲破光學、声睡眠保健食品,學、力學、生物等先辈傳感器的焦點工艺，并鞭策相干產物及利用的財產化。